真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器材及電力整流器材的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體維護(hù)燒結(jié)及慣例燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
真空燒結(jié)爐冷卻水異常
1、承認(rèn)加熱電源已中止。
2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)趕快采納應(yīng)急措施，如能確保水量，請持續(xù)保持真空，如不能采納應(yīng)急措施，保持原狀，承認(rèn)設(shè)備冷卻下來。
3、冷卻水發(fā)生異常時(shí)，設(shè)備處于中止?fàn)顩r，立刻接通緊急用冷卻水。
4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時(shí)，假如冷卻水中止了，假如不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵或許被損壞。
停電
1、停電時(shí)，假如斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、假如在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠趕快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需求較長時(shí)刻，則將設(shè)備保持原狀。
3、假如正在加熱和冷卻時(shí)，能夠趕快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，假如需求較長時(shí)刻時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備天然冷卻下來。
加熱電源掉電
1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報(bào)警。
2、接地毛病。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器銜接處有必要銜接牢固，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源呈現(xiàn)毛病，掉電的原因可以以為因?yàn)殡娊橘|(zhì)擊穿而引起的放電。
充氣氣體(氬氣或氮?dú)?中止
1、抽真空開端前，氣體充入時(shí)刻長或許無法充入時(shí)，請承認(rèn)氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要悉數(shù)中止后再進(jìn)行檢查。
3、向真空室內(nèi)充氣不能中止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
4、承認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì)影響制品質(zhì)量。
真空室壓力惡化
1、真空排氣時(shí)刻比通常長時(shí)，應(yīng)把設(shè)備停下來進(jìn)行檢查，依據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀況下放氣的影響，也有導(dǎo)致壓力升高的情況。
2、經(jīng)過壓力上升測試或許用氦氣檢漏來承認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。
在真空和維護(hù)性氣氛中，對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié)，要獲得一定密度和具有一定機(jī)械性能的材料時(shí)，一般選用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無壓燒結(jié)。有壓燒結(jié)工藝是將粉狀材料置于真空和維護(hù)性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀況時(shí)，加壓成型。這種工藝需求一種真空熱壓燒結(jié)才能實(shí)現(xiàn)。該燒結(jié)爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特色。目前這種爐型在我國還未見定型產(chǎn)品。