真空爐在平時的實驗中如果有液體存在，就需要一個液體蒸騰的進程（高真空下不需要加熱也能氣化），可以通過長期拉真空來氣化掉這部分液體從而達到高真空（等穩(wěn)定),如果長期都達不到目標氣壓的話，就要考慮體系和羅茨泵了，你可以直接測一下羅茨泵的極限真空（不接入其他體系），若無缺則便是體系的密封功能了。
(1)水冷設(shè)備，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中間真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下作業(yè)。在這種極為不利的條件下作業(yè)，必須保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不焚毀。因而，各部件應(yīng)該根據(jù)不同的狀況設(shè)置水冷設(shè)備，以保證真空熱處理爐可以正常運行并有滿足的使用壽命。
(2)選用低電壓大電流：在真空容器內(nèi)，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時，真空容器內(nèi)的通電導體在較高的電壓下，會發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。在真空熱處理爐內(nèi)，嚴峻的會發(fā)生弧光放電，焚毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和損失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業(yè)電壓，一般都不超過80一100伏。一起在電熱元件結(jié)構(gòu)規(guī)劃時要采納有效辦法，如盡量防止有頂級的部件，電極間的距離不能太小窄，以防止輝光放電或許弧光放電的發(fā)生。
(3)大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業(yè)的，因而對這些材料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導熱系數(shù)小等要求。對抗氧化功能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛選用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料。這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化，因而，常規(guī)熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱材料。
(4)嚴厲的真空密封：眾歷周知，金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內(nèi)進行，因而，取得和維持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的作業(yè)真空度，對保證零件真空熱處理的質(zhì)量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個關(guān)鍵問題，便是要有牢靠的真空密封結(jié)構(gòu)。為了保證真空爐的真空功能，在真空熱處理爐結(jié)構(gòu)規(guī)劃中必須道循一個基本原則，便是爐體要選用氣密焊接，一起在爐體上盡量少開或許不開孔，少選用或許防止選用動密封結(jié)構(gòu)，以盡量削減真空走漏的時機。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出設(shè)備也都必須規(guī)劃密封結(jié)構(gòu)。
(5)自動化程度高：真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個乃至幾十個動作來完結(jié)。這些動作內(nèi)在真空熱處理爐內(nèi)進行，操作人員無法接近。一起，有些動作如加熱保溫結(jié)束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內(nèi)完結(jié)。在這樣迅速的條件來完結(jié)許多動作，是很簡單形成操作人員的嚴重而構(gòu)成誤操作。因而，只有較高的目動化才干精確、及時按程序協(xié)調(diào)集。