真空爐的“心臟部件”——石墨制品，以2800℃以下功能安穩(wěn)、半導(dǎo)體級潔凈度和導(dǎo)電導(dǎo)熱可控三大優(yōu)勢，成為高端制作的隱形柱石。從發(fā)熱體到密封件，它們在極點(diǎn)環(huán)境下保證工藝安穩(wěn)性，支撐起半導(dǎo)體、航空航天等領(lǐng)域的精細(xì)制作。
在半導(dǎo)體芯片退火、航空航天材料燒結(jié)等高端制作領(lǐng)域，真空爐是中心設(shè)備，而真空爐用石墨制品則是其 “心臟部件”—— 從1000℃的硅片分散到2000℃的鈦合金熔煉，從0.1Pa的高真空到惰性氣體維護(hù)氛圍，石墨制品以 “耐高溫、抗腐蝕、低蒸發(fā)” 的特性，撐起了真空爐內(nèi)的精細(xì)制作。
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